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    1.  

      機器人研拋一體機

      基于工業機器人的小工具加工機床,利用小工具在元件表面高速旋動,實現對平面、球面及非球面元件面形快速收斂。
      利用自主研發的基于力控傳感器的柔性拋光頭,確保拋光過程中材料去除函數穩定可控,從而實現超精密元件表面的高精度加工,配合全鏈路工藝、軟件,實現光學元件從研磨到精密拋光的全鏈路加工。

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      基于工業機器人的小工具加工機床,利用小工具在元件表面高速旋動,實現對平面、球面及非球面元件面形快速收斂。
      利用自主研發的基于力控傳感器的柔性拋光頭,確保拋光過程中材料去除函數穩定可控,從而實現超精密元件表面的高精度加工,配合全鏈路工藝、軟件,實現光學元件從研磨到精密拋光的全鏈路加工。

      優勢
      1、基于工業機器人專用控制系統,實現高精度表面成型。
      2、基于力控傳感器的柔性拋光頭設計,精確控制加工過程去除函數。
      3、根據加工要求,開放式全鏈路加工工藝軟件開發。
      4、根據客戶要求定制開發


      主要技術指標

      項目
      參數指標
      可加工元件材料
      熔石英、K9、微晶等光學元件;合金鋁等金屬元件
      可加工元件最大尺寸

      φ1000mm

      拋光工具轉速
      50-800RPM
      力傳感器量程
      Fx/Fy:100N; Fz:200N
      力傳感器精度非線性和滯后優于0.5%,串擾優于2%
      力傳感器分辨率Fx/Fy:0.09N; Fz:0.33N
      工具軸運動范圍
      1:±180°
      2:-90°至+150°
      3:-180°至+75°
      4:-400°至+400°
      5:-125°至+120°
      6:-400°至+400°
      工具軸最大運動速度
      1-6軸均為175°/s
      重復定位精度
      0.06mm
      面積需求
      3.5m×3.5m×3m
      溫度要求
      22±0.5℃
      濕度要求
      40%-80% RH




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